SIGMA300场发射扫描电镜采用成熟的GEMINI光学系统设计，将低电压成像技术发挥到了极致，采用适宜的探针电流范围。SIGMA300将高级的分析性能与场发射扫描技术相结合，多种探测器可选，用于微观形貌观察、微区成分分析、物质结构、性能分析等。广泛地应用于金属材料（钢铁、冶金、有色、机械加工）和非金属材料（化学、化工、石油、地质矿物学、橡胶、纺织、水泥、玻璃纤维）等检验和研究。该设备配有能谱仪、全自动矿物分析系统AMICS和EBSD分析系统。

SIGMA300场发射扫描电镜

主要性能指标： 

分辨率1.0nm@15kV, 1.6nm@1kV

极好的电子束稳定度（< 0.2%／h）

极宽的加速电压20V–30kV

圆柱形一体化大样品室，内径365mmx 高度275 mm，能装直径250mm样品

5 轴马达中心样品台

图像存储分辨率高达32K x 24K像素

放大倍率10倍至30万倍

分析工作距离1mm 至50mm

带样品接触报警装置

带样品电流监测器

样品室极限真空度优于2×10-4 Pa